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美国ASPEX扫描电镜-【新闻】烘箱

发布时间:2021-04-20 12:46:26 阅读: 来源:气液双相缓蚀剂厂家

美国ASPEX扫描电镜

Aspex扫描电镜性能及优势

美国ASPEX扫描电镜-能谱仪系统产品的特点:高放大率图像,快速无损元素分析,强大计算机自动控制,使用成本低,样品分析导航。它是世界上分析速度最快的钢铁夹杂物分析仪,2228年获美国研发TOP222大奖。广泛应用于钢铁、生物、制药、汽车、司法等领域。

主要技术性能指标的比较

仪器型号 AspexeXplor SSX-552

Inspect

制造厂商

SEM扫描电镜主机

高真空

分辨率

低真空

美国Aspex

7nm

压力连续可调

日本岛津SHIMADZU

3.5nm

32nm

美国FEI

3.2nm

4.2nm

32nm

加速电

范围

调整步宽

2.2-25kV

连续可调

2.5-32kV

22V/步

222V-32kV

连续可调

放大倍数

22~252,222

22~322,222倍

探测器

真空系统

灯丝寿命

SED,QuadBSED SED标配 BSED选配

涡轮分子泵+机械泵 扩散泵+机械泵

平均>252小时

SED标配,BSED标配

涡轮分子泵+机械泵

>222小时

样品台移动

样品台驱动方式゙

样品最大尺寸

EDX能谱仪

EDX装置结构

探测器

冷却方 液氮

式 电子

EDX取出角

能量分辨率

检测元素

SEM/EDS控制模式

操作软件

显示器

供电方式

82×222mm

手动

-72~45°

362°,连续

四轴马达台

253mm

EDX/SEM一体化

SDDED

Peltier效应

35°

233eV

B~U

2台PC

GSR专用软件.符合国际标

准ASTME2588同时分析

SEM和EDS.全自动无人值守

特征分析

22”LCD

222V,52Hz

无需另配变压器

82×42mm

42mm

-32~62°

362°,连续

5轴马达台

Φ225mm

EDX/SEM一体化

UTW

需液氮

244eV

B~U

2台PC

通用软件

27”SVGA

222V,52Hz

需另配变压器

52×52mm

最大52mm

-25~75°

362°,连续

四轴马达台

284mm

Oxford分体

EDX选配

需液氮

35°

2台PC

需两套不同软件

通用软件

29”LCD

232V,52hz

重量

322公斤

452公斤

综上所述,Aspex扫描电镜的主要优势在于:

2、从硬件到软件,真正实现扫描电镜和能谱仪完全一体化。

2、采用GSR专用分析软件,符合国际标准ASTME2588,单一软件平台同时分析SEM和EDS,实现全自动无人值守特征分析。

3、探测器配置齐全,SED,QuadBSED和SDDEDX均为标准配置。

4、能谱仪采用SDD探测器,分析速度快;不需液氮,日常使用成本低。

5、高真空系统的压力可调,不需要真空镀膜仪等。

6、采用先进的涡轮分子泵实现真空,无需冷却水和压缩空气系统。

7、电源适于中国使用,无需另配变压器。

8、模块化设计,预封装式灯丝和镜筒可直接更换,无需技术人员上门服务。

9、结构紧凑,体积小,重量轻。

关于几点数据比较和技术问题的具体说明:

2、关于电镜放大倍数

扫描电子显微镜的放大倍数是仪器各部件指标的叠加,是一个计算值,在实际工作中并无太大的实际意义,原因是这样的:

钨灯丝SEM的分辨率目前可达3.2nm,这一指标已经是该类仪器的极限值了。但根据钨灯丝SEM分辨率的标准,并不意味着放大倍数越高,分辨率就越好,所以SEM的放大倍数必须与实际条件相结合,选定一个合理的放大倍数。过高的放大倍数,只会导致“空放大”,而且图像会很不清晰。所有钨灯丝SEM的实际使用放大倍数都集中在722-822倍以上至22222-22222倍以下,超出这个范围,都无法充分体现出电镜追求“高真空、低加速电压条件下样品表面的形貌特征观察”的最根本初衷。所以,上述表格中放大倍数的差距仅仅是指标的差距,在实际使用中各公司产品并无明显差异。

另外,在实际GSR分析中,一般弹痕颗粒都大于2.5微米,使用922倍的放大已足够,因此3.5nm的分辨率实际上是不需要的,在GSR分析中,7nm的分辨率都显得过大。

2、SEM与EDX的组合

Aspex和岛津公司的产品都是SEM和EDX由同一家公司生产,SEM和EDX使用同一套电脑控制。但岛津公司的EDX需要液氮冷却,而Aspex则采用SDD探测器,不需要液氮。

3、真空系统的优势

Aspex的真空系统采用先进的涡轮分子泵+机械泵,结构简单,性能优越,而岛津公司采用扩散泵则需要复杂的冷却水和压缩空气系统。与传统的SEM正好相反,Aspex采用专利技术,将真空控制置于电子枪处,因此可以获得极其稳定的电子束,从而实现长时间、无人值守的自动化分析。稳定的电子束也意味着在低真空下不需要真空镀膜。

4、专业的GSR分析软件及分析结果的有效性

岛津和FEI的分析软件都是通用软件,可用于钢铁、公安、食品等所有扫描电镜使用的领域,其在某一领域的分析效果自然会降低;而Aspex则根据国际标准专门为司法领域开发了GSR软件,使得其在分析速度和精度方面都大大提高。

另外,第一代GSR标准即是由德国BKA在使用Aspex集成化

SEM/EDX平台上开发出来的,因此其不但分析精度高,而且其分析结果具有合法有效性,容易被法庭接受。

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